A bevonat általános hibáinak elemzése （2)- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

A bevonat általános hibáinak elemzése （2)

Membránfehér köd

Jelenség: a bevonat befejeződött, van néhány könnyű fehér köd a felszínen. Ha acetonnal vagy vegyes oldattal törli, akkor a jelenség egyre komolyabbá válik. Törölje meg a cérium -oxidporral, amelyet le lehet törölni vagy megvilágítani (szintén: törölhető gramm)

Elemzés: A membránon kívüli fehér köd okai bonyolultabbak, és a lehetséges okok a következők:

①, Filmszerkezeti probléma: A külső film oszlopos szerkezete laza, és a külső film túl durva;

② A párolgási szög túl nagy, a film szerkezete durva.

③, Hőmérsékleti különbség: Ha a lencse nincs a fedélből, a belső és a külső hőmérsékleti különbség túl nagy

④, nedvesség; A környezet nedvességtartalma a lencse után kiszállt a fedélből

⑤. A vízgőz túl nehéz, ha a polycoldot felolvasztják a vákuumkamrában

⑥. Hiányos oxigénellátás a párolgás és az egyenetlen filmszerkezet során

⑦, A film és a film közötti stressz

Fejlesztési ötletek: A membránon kívül számos fehér köd oka van, de mindegyiknek megvan a maga tulajdonsága. Próbálja meg előírni a megfelelő gyógyszert. A fő ötlet az, hogy a membrán sűrűbbé és simábbá váljon, amelyet nem könnyű adszorbeálni, a második pedig a környezet javítása és az adszorpció tárgyainak csökkentése.

A stratégia fejlesztése:

1. Javítsa a filmrendszert, és adjon hozzá szilícium -dioxidot a külső réteghez, hogy a film felületét sima és nem könnyű adszorbeálva. Javítsa a környezetet, amikor a lencse kijön (száraz, tiszta)

2. Csökkentse a lencse hőmérsékletét, amikor a fedelet (hosszabbítsd ki a vákuumkamrában a hűtési időt) a hőmérsékleti különbség csökkentése és a feszültség csökkentése érdekében.

3. Javítsa az oxigénellátást (növekedés) és javítsa a membrán szerkezetét.

5. Ion-asszisztált bevonat a filmszerkezet javítása érdekében

6. Adjon hozzá egy kis inflációs szelepet, amikor a polycoldot felolvasztják (annak funkciója, hogy időben elvegye a vízgőzt)

7. Keresse meg a párolgási szög javításának módját a párolgási forrásból és a szerelvényből.

8. Javítsa a szubsztrát felületi érdességét.

9. Figyeljen a vákuumfokozatra, amikor a polycoldot megolvasztják.