1. Ellenállás elpárologási bevonat: Az ellenállás párolgási forrását az alacsony olvadáspontú anyagok, például az arany, ezüst, cink -szulfid, magnézium -fluorid, króm -trioxid stb. El párologtatására használják. A rezisztencia párolgási források általában volfrámból, molybdénből és tantalumból készülnek.
2. Elektronnyaláb párolgási bevonat : Miután a film anyagát elpárologtatják és elpárologtatják elektronnyaláb -fűtéssel, a szubsztrátum felületén kondenzálódik, hogy egy filmet képezzen, amely fontos fűtési módszer a vákuum párologtatási technológiában.
Sokféle ilyen eszköz létezik. A vékonyréteg -technológia széles körű alkalmazásával nemcsak a membránok típusaira vonatkozó követelmények különféleek, hanem a membránok minőségére vonatkozó követelmények is szigorúbbak.
Az ellenállás elpárologása már nem felel meg egyes fémek és nem fémek párolgásának igényeinek. Az elektronnyaláb hőforrása sokkal nagyobb energia sűrűséggel érhető el, mint az ellenállás hőforrása, és az érték elérheti a 104-109W/cm2-t, így a film 3000-6000 ° C-ra melegíthető.
Ez jobb hőforrást biztosít a tűzálló fémek és nem fémes anyagok, például volfrám, molibdén, germánium, SiO2, AI2O3 stb. Exportálásához. Sőt, mivel az elpárologtatandó anyagot egy vízhűtéses feszítésbe helyezik, és a tartálytartalmú anyag és a container anyag közötti reakciók között elpárologhat.
Ezenkívül a hő közvetlenül hozzáadható a film anyagának felületéhez, tehát a hőhatékonyság magas, és a hővezetés és a hő sugárzási vesztesége kicsi.
3. ívfűtési párolgási borítás: Az elektronnyaláb -fűtési módszerhez hasonló fűtési módszer az ARC kisülési fűtési módszer. Ezenkívül a rezisztencia fűtőanyagok vagy a tégely anyagok szennyeződésének elkerülése is, valamint a magas fűtési hőmérséklet jellemzői, különös tekintettel a refrakter fémek, grafit stb. Párszolgaságára, nagy olvadásponttal és bizonyos vezetőképességgel.
Ugyanakkor az ebben a módszerben használt berendezés egyszerűbb, mint az elektronnyaláb -fűtőberendezés, tehát egy viszonylag olcsó párolgási eszköz.
4. Lézersugár párolgási bevonat: A nagy teljesítményű sűrűségű impulzusos lézer felhasználásának módszerét az anyagok vékony fóliák kialakításához általában lézer párolgásnak nevezzük
5. Nagyfrekvenciás indukciós fűtési párolgási borítás: Használja az indukciós fűtés elvét a fém melegítéséhez a párolgási hőmérsékleten.
A film anyagát tartalmazó tégelyt a spirál tekercs közepére helyezik, és a tekercsen áthaladnak a magas frekvenciájú áram, így a fémfilm anyag áramot generálhat, hogy felmelegedjen, amíg elpárolog.
Az indukciós fűtési párolgási forrás tulajdonságai:
1. Magas párolgási arány
2.
3.
4. A membrán anyag tisztaságára vonatkozó követelmények kissé szélesebbek.