A munkadarab tisztítási lépései a vákuumbevonatba történő bevonás előtt

Annak érdekében, hogy javítsák a bevont film tapadását és simaságát a szubsztrát felületén, valamint a film tömörségét, mielőtt a szubsztrátot a vákuumbevonatba lógnák, előzetes tisztítási lépést kell végrehajtani az olajfoltok, foltok, por eltávolításához, annak biztosítása érdekében, hogy ez tiszta állapotban legyen, majd vontatást.

1. Vákuumfűtés tisztítás

A munkadarabot normál nyomás vagy vákuum alatt melegítik. Elősegítse az illékony szennyeződések elpárolgását a felszínen a tisztítás céljának elérése érdekében. Ennek a módszernek a tisztítási hatása a munkadarab környezeti nyomásához, a retenciós idő hosszához, a fűtési hőmérséklethez, a szennyező anyagok típusához és a munkadarab anyagához kapcsolódik. Az elv a munkadarab melegítése. Elősegíti a vízmolekulák és a felületén adszorbeált különféle szénhidrogén -molekulák fokozott deszorpcióját. A deszorpció fokozásának mértéke a hőmérséklettől függ. Rendkívül magas vákuum alatt az atomilag tiszta felületek előállításához a fűtési hőmérsékletnek 450 foknál nagyobbnak kell lennie. A fűtési tisztítási módszer különösen hatékony. De néha ennek a megközelítésnek mellékhatásai is lehetnek. A fűtés eredményeként előfordulhat, hogy egyes szénhidrogének nagyobb agglomerátumokká alakulnak, és ugyanakkor szénmaradványokra bomlanak.

2. Ultraibolya besugárzás tisztítása

UV -sugárzást használ a szénhidrogének lebontására a felületen. Például a levegőnek 15 órás expozíciója tiszta üvegfelületet eredményez. Ha a megfelelően tisztított felületeket ózon-generáló UV-forrásba helyezik. Tiszta felületet hozhat létre percben (a folyamat tiszta). Ez azt jelzi, hogy az ózon jelenléte növeli a tisztítási sebességet. A tisztítási mechanizmus: ultraibolya besugárzás alatt a szennyeződés molekulái gerjesztik és disszociálódnak, és az ózon generálása és létezése nagyon aktív atom -oxigént termel. Az izgatott szennyeződések és a szennyeződések disszociáció által generált szabad gyökök kölcsönhatásba lépnek az atom oxigénnel. Egyszerűbb és illékonyabb molekulák alakulnak ki. Mint például a H2O3, CO2 és N2. A reakciósebesség növekszik a hőmérséklet növekedésével.

3. Méréstisztítás

Ezt a tisztítási módszert széles körben használják a nagy vákuum és az ultra-magas vákuumrendszerek tisztításában és gáztalanításában. Különösen vákuumbevonó gépekben használják. Forró vezetéket vagy elektródot használnak elektronforrásként. Ha negatív torzítás alkalmazza a tisztításra kerülő felületre, akkor a gáz deszorpciót érheti el ionbombázás és bizonyos szénhidrogének eltávolítása révén. A tisztító hatás az elektróda anyagától, a geometriától és annak felületéhez való viszonyától függ. Vagyis az ionok számától és az ionenergia számától függ az egységnyi felületenként. Ezáltal a rendelkezésre álló elektromos energiától függ. A vákuumkamrát inert gáz (általában AR gáz) tölti fel megfelelő részleges nyomáson. A tisztítást ionbombázással lehet elérni, ha két megfelelő elektróda között alacsony feszültségű izzulást végeznek. ebben a módszerben. Az inert gáz ionizálódik, és bombázza a vákuumkamra belső falát, a vákuumkamrában lévő egyéb szerkezeti részeket és a bevont szubsztrátot, ami néhány vákuumrendszert mentesíthet a magas hőmérsékletű sütés alól. Jobb tisztítási eredményeket lehet elérni néhány szénhidrogének esetében, ha oxigént adnak a töltött gázhoz. Mivel az oxigén bizonyos szénhidrogének oxidálására képes olyan illékony gázokat képezni, amelyeket a vákuumrendszer könnyen eltávolít. A rozsdamentes acél, a magas vákuum és az ultra-magas vákuum edények felületén lévő szennyeződések fő alkotóelemei a szén- és szénhidrogének. Általában véve, a benne lévő szén nem illeszkedhet önmagában. A kémiai tisztítás után be kell vezetni az AR vagy AR O2 vegyes gázt az izzás kisülés tisztításához, hogy eltávolítsák a felszínen lévő szennyeződéseket és a kémiai hatás miatt a felületre kötött gázokat. Glow kisülési tisztításban. Fontos paraméterek az alkalmazott feszültség (AC vagy DC) típusa, a kisülési feszültség nagysága, az áram sűrűsége, a feltöltött gáz típusa és a nyomás. A bombázás időtartama. Az elektródák alakja, valamint a tisztítésó alkatrészek és elhelyezkedése stb.

4. Gáz öblítés

(1) nitrogén öblítés

Ha a nitrogént az anyag felületén adszorbeálják, a kis adszorpciós energia miatt, a felületi retenciós idő rövid. Még akkor is, ha az eszköz falán adszorbeálódik, könnyen el lehet szivattyúzni. A nitrogén tulajdonságának felhasználása a vákuumrendszer kiürítésére nagymértékben lerövidítheti a rendszer szivattyúzási idejét. Például, mielőtt a vákuumbevonó gépet a légkörbe helyezik, töltse ki a vákuumkamrát száraz nitrogénnel, hogy öblítse azt, majd töltse be a légkörbe, a következő szivattyúzási ciklus szivattyúzási ideje majdnem felével lerövidíthető, mivel a nitrogén adszorpciós energiája jóval kisebb, mint a vízhat -molekulák, miután a nitrogénfalakat nitrogénfalakkal töltik be, a nitrogén molekulák, a nitrogén molekulák; Mivel az adszorpciós hely rögzítve van, először nitrogénmolekulákkal töltik meg, és nagyon kevés vízmolekulát adszorbeál, ezáltal lerövidítve a szivattyúzási időt. Ha a rendszert a diffúziós szivattyú olajcseppje szennyezi, akkor a nitrogén öblítési módszer is használható a szennyezett rendszer tisztítására. Általában a rendszer sütése és fűtése közben a rendszer nitrogéngázzal történő öblítése kiküszöböli az olajszennyezést.

(2) Reaktív gáz kipirulása

Ez a módszer különösen alkalmas a nagy ultra-magas rozsdamentes acél porszkázók belső mosására (a szénhidrogénszennyezés eltávolítására). Általában néhány nagy ultra-magas vákuumrendszer vákuumkamrájához és vákuumkomponenseinél az atomilag tiszta felületek előállítása érdekében a felszíni szennyeződés kiküszöbölésére szolgáló standard módszerek a kémiai tisztítás, a vákuumkemence pörkölése, az izzódás-tisztítás és az eredeti energia pörkölt vákuumrendszerek és egyéb módszerek. A fent leírt tisztítási és gáztalanító módszereket általában használják egy vákuumrendszer összeállítása előtt és alatt. A vákuumrendszer telepítése után (vagy a rendszer működése után), mivel a vákuumrendszer különféle alkatrészeit rögzítették, nehéz a vákuumrendszer különféle alkatrészeinek meghatározása. Miután a rendszert (véletlenül) szennyezett (főleg nagy atomszámok), mint például a szénhidrogénszennyezés), általában a telepítés előtt lebontják és újrafeldolgozják. A reaktív gáz eljárással az in-situ online gáztalanítás elvégezhető. Hatékonyan távolítsa el a szénhidrogének szennyezését a rozsdamentes acél vákuumkamrában. Tisztító mechanizmusa: A rendszerben az oxidáló gázt (O2, N0) és a GAS -t (H2, N H3) redukáló rendszerben idézjük a fémfelület kémiai reakció tisztításának elvégzésére a szennyezés kiküszöbölése érdekében, hogy az atomilag tiszta fémfelületeket elérjék. A felület oxidációjának/redukciójának sebessége a fémfelület szennyeződésétől és anyagától függ. A felületi reakciósebességet a reakciógáz nyomásának és hőmérsékletének beállításával szabályozzuk. Minden szubsztrát esetében a pontos paramétereket kísérletileg meghatározzuk. Ezek a paraméterek különböznek a különböző kristálylográfiai orientációknál.

A 2007 -ben alapították a Huahong vákuum technológiájának előző nevét. Kínai vákuum -hozzáférési beszállítók and Vákuum -hozzáférési gyártók , beleértve, de nem kizárólag a porlasztó rendszereket, az optikai bevonó egységeket, a kötegelt fémeket, a fizikai gőzlerakódási (PVD) rendszereket, a kemény és kopásálló vákuumbevonat-lerakódási berendezéseket, az üveg, a PC-szubsztrát bevonókat, a roll-tekercselt gépeket a rugalmas szubsztrátumok bevonatához. A gépeket az alábbiakban ismertetett (de nem kizárólag) autóipari, dekoratív, kemény bevonatok, szerszám- és fémvágó bevonatok, valamint az ipari és laboratóriumok számára, beleértve az egyetemekhez, az egyetemeket, beleértve az egyetemeket, a vákuum-technológiai vállalat Ltd elkötelezettségének kibővítésével járó piaci határok kibővítésével kapcsolatos, magas szintű, magas teljesítményű, nagy teljesítményű, teljesítményű és nagy teljesítményű és nagy teljesítményű permetményű és nagy teljesítményű és a Vacuum-kiegészítők számára elkötelezett alkalmazásokhoz használják. Cégünk nagy hangsúlyt fektet az értékesítés utáni szolgáltatásokra a hazai és a nemzetközi piacokon, pontos alkatrészfeldolgozási terveket és szakmai megoldásokat biztosítva az ügyfelek igényeinek kielégítésére.