Általános vákuumszivárgás -észlelési módszerek

Szivárgásdetektálás hélium tömegspektrometriával

Ez a technológia nélkülözhetetlen technológia a vákuumszivárgás -észlelés területén. Széles körben használják a szivárgás észlelésében, mivel nagy szivárgás -észlelési hatékonysága, könnyű működése, érzékeny műszer -válasz, nagy pontosságú és nem Kína PVD bevonórendszerek beszállítói Könnyen beavatkozhat más gázokkal. A hélium tömegspektrométer -szivárgási detektor egyfajta gázszigetelő detektáló eszköz, amely a tömegspektrometriás elven alapul, amely héliumot használ szivárgásjelző gázként. Ionforrásból, analizátorból, kollektorból, hideg katód ionizációs mérőeszközből, tömegspektrometriás kamrából, kipufogórendszerből és elektromos részből áll. A tömegspektrometriás kamrában az izzószálból kibocsátott elektronok előre -hátra oszcillálnak a szobában, és ütköznek a beltéri gáz és a héliumba a helyiségbe a szivárgó lyukon keresztül, hogy pozitív ionokká váljanak. Ezek a héliumionok belépnek a mágneses mezőbe a gyorsított elektromos mező bal és jobb agya alatt, és a Lorentz -erő hatása miatt elhajolnak, kör alakú ív pályát képezve és a gyorsított elektromos mező megváltoztatásával. A nyomás lehetővé teszi a különböző tömegű ionok észlelését azáltal, hogy a fogadó pólusot a mágneses mezőkön és a fogadó résidőkön keresztül érik el. A hélium befecskendezési módszer és a hélium abszorpciós módszer a két általánosan használt módszer a hélium tömegspektrométer szivárgásának kimutatására.