Párolgási vákuum bevonógép és fizikai elv- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Párolgási vákuum bevonógép és fizikai elv

A párolgás vákuum bevonógép elsősorban vákuumbevonó kamrából és vákuumszivattyú rendszerből áll. Vannak párolgási források (azaz párologtatási melegítők), szubsztrátok és szubsztráttartók, elektród rudak, tápegységek, kereszteződések, szubsztrátfűtők, kipufogó rendszerek stb. A vákuumkamrában.

A bevonó anyagot a párolgási forrásba helyezik a vákuumkamrába. Nagy vákuum körülmények között a párolgási forrást felmelegítik, hogy elpárologtassa. Ha a gőzmolekulák átlagos szabad útja nagyobb, mint a vákuumkamra lineáris mérete, akkor a filmgőz atomjai és molekulái elpárolognak a párolgási forrásból. Miután a forrásfelület elmenekül, más molekulák vagy atomok ritkán ütköznek és akadályozzák, és közvetlenül elérhetik a bevont szubsztrát felületét. A szubsztrát alacsony hőmérséklete miatt a film anyagának gőzrészecskéi kondenzálódnak, hogy filmet képezzenek.

Az elpárologtatott molekulák és a szubsztrát közötti tapadás javítása érdekében a szubsztrát megfelelő fűtéssel vagy iontisztítással aktiválható. A vákuum párolgási bevonat fizikai folyamata az anyag elpárologásától, a lerakódáshoz és a filmképződéshez történő szállításról a következők:

1. Használjon különféle módszereket az energia más formáinak hőenergiává történő átalakításához, a film anyagának melegítéséhez vagy a fenségesnek, és gáznemű részecskékké (atomok, molekulák vagy atomcsoportok) válni egy bizonyos energiával (0,1 ~ 0,3EV):

3. A szubsztrát felületét elérő gáznemű részecskék és nukleáció, és szilárd filmré nőnek;