Milyen tényezők befolyásolják a vákuumbevonat bevonási teljesítményét?

Milyen tényezők befolyásolják a bevonat teljesítményét vákuum bevonógép ?

Ha egy vákuumbevonat jó filmet akar beépíteni, akkor biztosítania kell, hogy sok tényező normál állapotban legyen, például vákuumbevonat, alapcél távolság, párolgási hőmérséklet, szubsztrát hőmérséklete, maradék gáznyomás és egyéb tényezők. Egy bizonyos tényezőben eltérés van. Ez befolyásolja a vákuum bevonógép bevonatrétegének teljesítményét. Az alábbiakban egy vákuumszerkesztő található, amely részletesen elmagyarázza, hogy mely tényezők befolyásolják a vákuum bevonógép bevonási teljesítményét. Remélem, hogy ez segíthet:

1. Párolgási arány

A párolgási arány mérete nagy hatással van a lerakódott filmre. Mivel az alacsony lerakódási sebesség által képződött bevonatszerkezet laza és könnyen elhelyezhető nagy részecskéket, hogy biztosítsa a bevonat szerkezetének tömörítését, nagyon biztonságos a magasabb párolgási sebesség kiválasztása. Ha a vákuumkamrában a maradékgáz nyomása állandó, akkor a szubsztrát bombázásának bombázási sebessége állandó érték. Ezért a magasabb lerakódási sebesség kiválasztása után a lerakódott filmben található maradék gáz csökken, ezáltal csökkentve ezzel a maradék gázmolekulák és az elpárologtatott film anyag részecskéi közötti kémiai reakciót. Ezért javítható a lerakódott film tisztasága. Meg kell jegyezni, hogy ha a lerakódási sebesség túl magas, akkor ez növelheti a film belső stresszét, ami a filmréteg hibáinak növekedését eredményezheti, sőt a filmréteg repedését is súlyos esetekben. Különösen a reaktív párolgás folyamatában alacsonyabb lerakódási sebességet lehet kiválasztani annak érdekében, hogy a reakciógáz és az elpárologtatott filmanyag -részecskék megfelelően reagálhassanak. Természetesen a különböző anyag párologtatáshoz eltérő párolgási sebességet kell használni. Gyakorlati példa arra, hogy az alacsony lerakódási sebesség hogyan befolyásolhatja a film teljesítményét egy reflektív film lerakódása. Például, ha a film vastagsága 600x10-8 cm, és a párolgási idő 3s, a reflexió 93%. Ha azonban a párolgási sebesség lassul ugyanazon film vastagsága alatt, akkor 10 percbe telik a film lerakódása. Ebben az időben a film vastagsága ugyanaz. A reflexió azonban 68%-ra esett vissza.

2. Szubsztrát hőmérséklete

A szubsztrát hőmérséklete szintén nagy hatással van a párolgási bevonatra. A szubsztrát felületén adszorbeált maradék gázmolekulák magas szubsztrát hőmérsékleten könnyen eltávolíthatók. Különösen a vízgőz -molekulák kizárása fontosabb. Sőt, nemcsak könnyű elősegíteni a fizikai adszorpcióról a kémiai adszorpcióra történő átmenetet magasabb hőmérsékleten, ezáltal növelve a részecskék közötti kötődési erőt. Ezenkívül a gőzmolekulák átkristályosodási hőmérséklete és a szubsztrát hőmérséklete közötti különbség csökkenthető, ezáltal csökkentve vagy kiküszöbölve a film-szubsztrát interfész belső stresszét. Ezenkívül, mivel a szubsztrát hőmérséklete a film kristályos állapotához kapcsolódik, az amorf vagy a mikrokristályos bevonatok általában könnyen képződhetnek a szubsztrát alacsony vagy nem melegítési körülmények között. Ezzel szemben, ha a hőmérséklet magasabb, akkor könnyű kristályos bevonatot generálni. A szubsztrát hőmérsékletének növelése szintén előnyös a bevonat mechanikai tulajdonságainak javításához. Természetesen a szubsztrát hőmérséklete nem lehet túl magas ahhoz, hogy megakadályozzák a párologtatott bevonat újratelepítését.

3. A maradék gáznyomás hatása a vákuumkamrában a film teljesítményére

A vákuumkamrában a maradék gáz nyomása nagy hatással van a membrán teljesítményére. Ha a nyomás túl magas, akkor a maradék gázmolekulákat nemcsak könnyű ütközni az elpárologtatott részecskékkel, így csökkennek a szubsztráton lövöldöző emberek kinetikus energiája, ami befolyásolja a film tapadását. Ezenkívül a túlzott maradék gáznyomás súlyosan befolyásolja a membrán tisztaságát és csökkenti a bevonat teljesítményét.

4. A párolgási hőmérséklet hatása a párolgási bevonatra

A párolgási hőmérsékletnek a film teljesítményére gyakorolt ​​hatását a párolgási sebesség mutatja a hőmérséklet függvényében. Ha a párologtatási hőmérséklet magas, akkor a párologtatás hője csökken. Ha a film anyagát a párolgási hőmérséklet fölött elpárologtatják, akkor még a hőmérséklet enyhe változása is gyors változást okozhat a film anyagának párolgási sebességében. Ezért nagyon fontos, hogy pontosan szabályozzuk a párolgási hőmérsékletet a film lerakódásakor, hogy elkerüljék a nagy hőmérsékleti gradienst, amikor a párolgási forrás felmelegszik. A könnyű fenséges film anyaghoz maga a film anyagot választják a fűtőkészüléknek, és az olyan intézkedések, mint például a párolgás, szintén nagyon fontosak. -

A fenti négy szempont a leggyakoribb tényezők, amelyek befolyásolják a vákuum bevonógép bevonatrétegének teljesítményét, és ezek szintén a hagyományos befolyásoló tényezők. A vákuumbevonó gép bevonási folyamata során biztosítani kell, hogy ezek a tényezők normál állapotban legyenek.