Vákuum porlasztás

1, Bevezetés

Általában a mágneses porlasztásra utal, amely a nagysebességű, alacsony hőmérsékletű porlasztási módszerhez tartozik. Az inert gázt (AR) vákuumban töltik meg, és az üreg és a fémcél (katód) között nagyfeszültségű áramot adunk hozzá. Mivel a Glow -kisülés által generált elektron izgatja az inert gázt, hogy argon pozitív ionot generáljon, a pozitív ion nagy sebességgel mozog a katód -cél felé, és a cél atomot robbantják fel, és a műanyag szubsztrátra lerakódnak, hogy filmet képezzenek. Kína párolgási vákuumbevonó gépek gyártói

2, alapelv

Ha a szilárd felület bombázására nagy energiájú részecskéket (általában az elektromos mező által felgyorsítva) használnak, akkor a szilárd felületen lévő atomok és molekulák által a nagy energiájú részecskékkel az atomok és a molekulák a szilárd felületen cserélik. A fröccsenő atomok (vagy klaszterek) bizonyos mennyiségű energiával rendelkeznek, letétbe helyezhetők és kondenzálhatók a szilárd szubsztrát felületén, hogy vékony fóliát képezzenek.

3. A vákuum -porlasztás légnyomás -követelményei

A vákuum -porlasztás megköveteli, hogy az inert gázt vákuum állapotba töltsék be, hogy megvalósuljanak a ragyogó kisülés, és ennek a folyamatnak a vákuumfokja molekuláris áram állapotban van.

4. Folyamatáramlás

A szubsztrát és a cél jellemzői szerint a vákuum -porlasztás bevonata közvetlenül is porlasztható alapozó nélkül. A vákuum -porlasztási bevonat hozzáadható az áram és az idő beállításával, de nem lehet túl vastag, és az általános vastagság 0,2 ~ 2um.