E -mail: 
Tel:+86-13486478562
Nyelv Termékkonzultáció
Az Ön e -mail címét nem teszik közzé. A szükséges mezőket meg vannak jelölve *
Vákuum bevonógép Elsősorban egy olyan típusú bevonatra utal, amelyet nagyobb vákuumban kell elvégezni, beleértve sokféle típust, ideértve a vákuumállóság fűtését, az elektronfegyver -fűtési párolgást, a mágneses porlasztást, az MBE molekuláris gerenda -epitaxiát, a PLD lézer porlasztási lerakódást, az ionnak sokféle sugaras fúródása van. A fő ötlet kétféle párolgásra és porlasztásra oszlik.
Elektromos vezérlőszekrény működése
1. Kapcsolja be a vízszivattyút és a levegőforrást.
2. Kapcsolja be a fő tápegységet.
3. Kapcsolja be a karbantartási szivattyú és a vákuummérő tápegységét, a v1 vákuummérő helyzetét, várja meg, hogy az érték 10 -nél kevesebb legyen, majd írja be a következő lépést. Körülbelül 5 percig tart.
4. Kapcsolja be a mechanikus szivattyút, a szivattyú, kapcsolja be a turbó molekuláris szivattyú teljesítményét, és indítsa el. A vákuummérő kapcsoló V2 helyzetre változik. Körülbelül 20 percig tart, hogy a pumpálást kevesebb, mint 2 -re lefelé.
5. Miután megfigyelte, hogy a turbomolekuláris szivattyú leolvasása eléri a 250-et, kapcsolja ki a pumpot, kapcsolja be a háttámlát és a nagy vákuumszelepet a porszívás folytatásához. Miután a vákuum eléri egy bizonyos szintet, kapcsolja be a jobb oldalon lévő nagy vákuummérőt, hogy megfigyelje a vákuumot. Csak akkor, ha a vákuum eléri a 2 × 10-3-at, be lehet kapcsolni az elektronpisztoly tápellátását.
1. Kapcsolja be a vízszivattyút és a levegőforrást.
2. Kapcsolja be a fő tápegységet.
3. Kapcsolja be a karbantartási szivattyú és a vákuummérő tápegységét, a v1 vákuummérő helyzetét, várja meg, hogy az érték 10 -nél kevesebb legyen, majd írja be a következő lépést. Körülbelül 5 percig tart.
4. Kapcsolja be a mechanikus szivattyút, a szivattyú, kapcsolja be a turbó molekuláris szivattyú teljesítményét, és indítsa el. A vákuummérő kapcsoló V2 helyzetre változik. Körülbelül 20 percig tart, hogy a pumpálást kevesebb, mint 2 -re lefelé.
5. Miután megfigyelte, hogy a turbomolekuláris szivattyú leolvasása eléri a 250-et, kapcsolja ki a pumpot, kapcsolja be a háttámlát és a nagy vákuumszelepet a porszívás folytatásához. Miután a vákuum eléri egy bizonyos szintet, kapcsolja be a jobb oldalon lévő nagy vákuummérőt, hogy megfigyelje a vákuumot. Csak akkor, ha a vákuum eléri a 2 × 10-3-at, be lehet kapcsolni az elektronpisztoly tápellátását.
DEF-6B működés
1. Teljes tápegység.
2. Kapcsolja be az elektronpisztolyvezérlést ⅰ és az elektronpisztolyvezérlés ⅱ A tápegység egyszerre: Nyomja meg az elektronpisztoly vezérlését ⅰ tápegység, késleltetési kapcsoló, a késleltetés, a tápegység és a védelmi lámpák be van kapcsolva. Három perc elteltével a késleltetés és a védelmi lámpák ki vannak kapcsolva. Ha a hátsó ajtó nincs bezárva, vagy a vízáram -relé meghibásodása van, akkor a védelmi lámpa mindig be lesz kapcsolva.
3. Amikor a nagyfeszültség be van kapcsolva, a nagyfeszültség eléri a 10 kV -ot, a gerenda áramát körülbelül 200 mA -ra lehet állítani, a függönyrács 20 V/100 mA, az izzószál árama 1,2a, és az eltérési áram 1 és 1,7 közötti ingadozik.
Leállítási sorrend
1. Kapcsolja ki a magas vákuummérőt és a molekuláris szivattyút.
2. Amikor a molekuláris szivattyú kijelzője eléri az 50 -et, kapcsolja ki a magas szelepet, az első szakaszot és a mechanikus szivattyút. Ez az időszak körülbelül 40 percig tart.
3. Ha 50 alatt van, kapcsolja ki újra a karbantartási szivattyút.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -mail: 
Address: No. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, Kína