Mi az a mágneses porlasztó vákuumbevonógép, és hogyan működik?
A Magnetron porlasztó vákuumbevonógép egy korszerű technológia, amelyet a szubsztrátok széles skáláján vékonyréteg-lerakódáshoz használnak. De mi pontosan ez, és hogyan működik?
A lényege, a Mágneses porlasztó vákuum bevonógép egy nagy vacuum kamra, amely célanyagot tartalmaz, jellemzően fém vagy ötvözet, valamint egy bevonandó szubsztrátot. A folyamat magában foglalja a célanyag nagy energiájú ionok általi bombázását, amelyek az atomokat kiszorítják a felületétől, és a szubsztrátumra helyezik őket, és vékony fóliát képeznek.
A Magnetron porlasztó vákuumbevonógép egyik kulcsfontosságú eleme a Magnetron, amely egy olyan plazmaforrás, amely erősen ionizált plazmát generál a kamrában. A magnetron katódból (a célanyagból), egy anódból és egy mágneses mezőből áll. A mágneses mező a plazma korlátozására és a kamrában lévő gázmolekulák ionizációjának a hatékonyabb porlasztássá történő fokozására szolgál.
A folyamat úgy kezdődik, hogy a kamrát nagy vákuumra pumpálják, jellemzően 10^-6 torr körül. A célanyagot ezután ionok bombázzák, amelyek az atomokat leütik, és olyan részecskék -fluxust hoznak létre, amely a szubsztrátra lerakódott. A lerakódási sebességet és a film tulajdonságait az ionáram, a célfeszültség és a kamrában lévő nyomás beállításával lehet szabályozni.
A Magnetron porlasztó vákuumbevonat egyik előnye a sokoldalúság. Használható az anyagok széles skálájának, beleértve a fémeket, ötvözeteket, kerámiákat és félvezetőket is. Használható többrétegű bevonatok létrehozására is, amelyek egyedi tulajdonságokkal rendelkezhetnek, mint például a jobb keménység, a kopásállóság vagy az optikai tulajdonságok.
A mágneses porlasztó vákuumbevonógép másik előnye a magas egységesség. A kamrában lévő mágneses mező arra szolgál, hogy az ionáramot egyenletesen elosztja a cél felületén, a film egységesebb lerakódási sebességéhez és vastagságához.
Összegezve, a Magnetron porlasztó vákuumbevonógép egy rendkívül kifinomult technológia, amelyet széles körben használnak olyan iparágakban, mint például a repülőgép, az elektronika és az optika. Az a képessége, hogy sokféle anyagot letétbe helyezzen, többrétegű bevonatok készítéséhez és rendkívül egységes filmek előállításához nélkülözhetetlen eszközévé váljon a kutatáshoz és fejlesztéshez, valamint a nagyszabású termeléshez.
A multi-ARC ion- és porlasztó bevonatok széles színben letétbe helyezhetők. A színek csengését tovább javíthatjuk, ha reaktív gázokat vezetnek be a kamrába a lerakódási folyamat során. A dekoratív bevonatok széles körben alkalmazott reaktív gázai a nitrogén, oxigén, argon vagy acetilén. A dekoratív bevonatok egy bizonyos színtartományban készülnek, a bevonat fém-gáz arányától függően. Mindkét tényező megváltoztatható a lerakódási paraméterek megváltoztatásával.
A lerakódás előtt az alkatrészeket megtisztítják, hogy a felület portól vagy kémiai szennyeződésektől mentes legyen. Miután a bevonási folyamat megkezdődött, az összes releváns folyamatparamétert folyamatosan ellenőrzik és egy automatikus számítógépes vezérlő rendszer vezérli.