Mi a társ-smuttering és az együttes párologtatás?

A porlasztás és a termikus elpárolgás a két általános fizikai gőzlerakódás PVD Kínai PVD bevonórendszerek gyártói Vékony film bevonat -folyamat technikái. Magas vákuum környezetben hajtják végre, ezek a módszerek a félvezető, az optika, a fotonika, az orvosi implantátum, a nagyteljesítményű autó- és aeroipar középpontjában állnak.

A „CO” kölcsönös, közös - egynél több. A társputálás és az együttélés azt jelenti, hogy egynél több bevonó anyagot alkalmaznak egy olyan szubsztrátra, amely lehetővé teszi az új és figyelemre méltó kompozíciók és ötvözetek széles skálájának létrehozását, amelyek egyedi és csodálatos tulajdonságai nem lehetségesek, nem lehetséges a gyorsan bővülő vékony film-technológia nélkül.
Az együttmûködés az, ahol két vagy több célpont (vagy „forrás”) anyagot porlasztanak, akár egyszerre, akár sorrendben a vákuumkamrában, és gyakran reaktív mágneses porlasztással használják, hogy vékony fóliákat állítsanak elő, amelyek kombinatóriumok, például fémötvözetek vagy nem fémes kompozíciók, például ceramika.

Széles körben használják az optikai és építészeti üvegiparban. Két célanyag, például szilícium és titán, kettős mágneses porlasztással történő reaktív együttmûködésének felhasználásával az üveg törésmutatója vagy árnyékoló hatása gondosan és pontosan ellenőrizhető a nagyméretű felületektõl, mint például az építészeti üvegig, a napszemüvegekig. Széles körben használják napelemeket és kijelzőket. Az együttmûködés iránti kérelmek továbbra is minden nap növekednek.

A co-smuttering egynél több katódot (általában kettő vagy három) használ a folyamatkamrában, ahol az egyes katódok energiája függetlenül ellenőrizhető. Ez azt jelentheti, hogy mindkettő több katódot tartalmaz, ugyanabba a célanyagból, amely egyszerre működik, hogy növelje a lerakódási sebességet, vagy ez azt is jelentheti, hogy a folyamatkamrában lévő különféle típusú anyagokat kombinálják, hogy egyedi kompozíciókat és tulajdonságokat hozzanak létre a vékony filmekben.

Az oxigéntartalmú plazmába porlasztott szilícium célok, mivel a reaktív gáz SiO2 -t képez, amelynek törésmutatója 1,5. A titán a plazmába porlasztott, oxigén formátumú TiO2 -vel, 2,4 reflektív indextel. A két célpont bevonó anyagának együttmûködésével és a kettõs magnetronok mindegyikének teljesítményének megváltoztatásával a bevonat pontos törésmutatója testreszabható és az üvegre lerakható az 1,5 és 2,5 közötti bármely kívánt törésmutatóba.

Ilyen módon a reaktív együttmûködés lehetővé tette a vékonyréteg -bevonatok létrehozását az üvegen és más, testreszabható vagy osztályozott refrakciós mutatókkal - beleértve az olyan bevonókat is, amelyek megváltoztatják az építészeti üveg reflektív jellemzőit, amikor a nap erősebbé vagy gyengébbé válik.
A ko-párologtatás egy olyan termikus párolgási folyamat, amelynek előnyei vagy hátrányai lehetnek, összehasonlítva az együttmûködéshez, az adott alkalmazástól függően, amelyet a leginkább a párolgási és a porlasztási PVD bevonási folyamatok közötti alapvető különbségek meghatározásával érthetünk meg.

Az együttéléssel a bevonó anyagokat nagy vákuumkamrában melegítik, amíg el nem párologni vagy szublimálni kezdenek. Ezt a forrásanyag melegítheti és elpárologtatja akár egy ellenálló, szálas hajó/huzalkosárból, vagy egy tégelyből egy elektronnyaláb segítségével. Ahhoz, hogy a termikusan elpárologtatott vékony fóliákkal magas szintű egységességet érjenek el, a bevont szubsztrátot gyakran manipulálják úgy, hogy a lerakódási kamrában egy vagy két tengelyen forgatják.

A vékony fóliák együttélése általános alkalmazása fémezett bevonatokkal, műanyagokra, üvegre vagy más szubsztrát anyagokra vonatkozik, amelyek magas fokú átlátszatlanságot és reflexiót, teleszkóp tükröket és napelemeket biztosítanak.

A CU (IN, GA) SE2 (CIGS) alapú napelemek elérték a legmagasabb rekord hatékonyságot a vékony film -napelemek között, a rekord hatékonysága meghaladja a 20%-ot. Ennek a sikernek a kulcsa a háromlépcsős együttélési folyamat, amely mélyreható kettős GA-gradienst eredményez, megnövekedett GA-koncentrációval mind a vékonyréteg-lerakódás elülső és hátsó felületéből. Ezek a sztöchiometrikus hatékonyság típusa, amelyet a valós világban végeznek az együttélési folyamatok, így zöldebb, tisztább, energiahatékonyabb világot eredményeznek, amely gyorsan bővül a jövőbe.