DK porlasztó bevonat

Mágneses porlasztó bevonat

A PVD bevonási technológia másik formája.

Plazma bevonat

A mágneses porlasztás egy plazmavonási folyamat, amelynek során a porlasztási anyagokat az ionok a cél felületére történő bombázása miatt dobják ki. A PVD bevonógép vákuumkamra tele van egy inert gázzal, például Argon. Nagyfeszültség alkalmazásával izzulást eredményeznek, ami az ionok gyorsulását eredményezi a cél felületén és a plazma bevonat. Az argon-ionok kiürítik a porlasztó anyagokat a cél felületéről (porlasztás), ami a cél előtti termékeken porlasztott bevonatréteg eredményez.

Reaktív porlasztás

Gyakran egy további gázt, például nitrogént vagy acetilént használnak, amely reagál az eldobott anyaggal (reaktív porlasztás). A PVD bevonási technikával széles körű porlasztott bevonatok széles választéka érhető el. A mágneses porlasztási technológia nagyon előnyös a dekoratív bevonatok (például Ti, Cr, Zr és szén -nitridek) számára, sima jellege miatt. Ugyanez az előny teszi a mágneses porlasztást széles körben használni a tribológiai bevonathoz az autóipari piacokon (például CRN, CR2N és különféle kombinációk a DLC bevonattal - gyémánt, például szénbevonat).

Mágneses mezők

A mágneses porlasztás kissé különbözik az általános porlasztási technológiától. A különbség az, hogy a Magnetron Sputtering Technology a mágneses mezőket használja a plazma a cél előtt, fokozva az ionok bombázását. A nagyon sűrű plazma ennek a PVD bevonási technológiának a következménye.

A Magnetron porlasztási technológia jellege:

• Vízhűtéses cél, így kevés sugárzási hő keletkezik
• Szinte bármilyen fémes célanyag bomlás nélkül porlasztható
• A nem vezetőképességű anyagokat a rádiófrekvenciával (RF) használhatjuk.

vagy közepes frekvencia (MF) teljesítmény

• Az oxid bevonatok porlaszthatók (reaktív porlasztás)
• Kiváló réteg egységesség
• Nagyon sima porlasztott bevonatok (nincs csepp)
• A katódok (legfeljebb 2 méter hosszú) bármilyen helyzetbe helyezhetők, ezért a porlasztás berendezések kialakításának nagy rugalmassága

A Magnetron porlasztási technológia hátránya.